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真空应用系统的几个问题

2018-11-22

1.真空元件,如阀门、进气管路、真空泵等相互连接时, 应尽量做到抽气管路短,管道直径尽量不低于主泵入口直径,并且管路中尽量少用弯头尤其是直角弯头。这是真空系统使用的一条重要原则。


2.真空系统的结构材料应尽量采用国家标准中的无缝钢管和板材,并尽量减少焊缝数目,用于焊接的钢材一般为20 钢或者Q235-A.F 钢(A3 钢)。尤其需要注意的是:接入真空系统的管路应当清理干净,并且接入的管路壁厚不应当过薄,过薄的管路在粗真空条件下进行抽气作业时会产生较强的共振。


3.真空系统操作规则:

a. 起动机械泵时,首先要保证转子运动方向正确,而且油位合乎要求。

b. 油封机械泵停止后,立即将机械泵入口通大气。因泵内真空会使泵油进入系统中。

c. 尽量不要用机械泵把高真空室直接抽至低于10Pa(0.1Torr)压强,否则机械泵的油蒸气会进入高真空室。因为在压强低于10Pa 时,会出现分子性气流,油分子将会返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下,则应当设置油分子捕集器。

d. 不应当使机械泵在大气压强下或者较高压强下连续长时间工作,否则电机会过热,而且泵会喷出油雾。

e. 在扩散泵(或油增压泵)通大气之前,应将泵油冷却到安全温度,防止高温下的泵油氧化。

f. 使用电离计时,应当在压强达到0.1 Pa 以下时再起动电离真空计,以防止电离计烧毁。

g. 高真空系统系统需要停止使用时,尽量将真空室及主泵在真空状态下封存,以缩短下一次使用时的抽气时间。

h. 系统冷却水压力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤,过低的压力会造成冷却水流通不畅,过高的压力会导致漏水或泵水隔套被压破等故障。泵内的油在添加时一定要使用1#真空油。

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